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Warp与Bow在游戏或应用程序中的具体区别是什么?

misa2 03-07 2次浏览 0条评论

warp和bow的区别?

我们在查阅半导体硅片或其它类型材料的衬底、晶片时,常常会看到诸如:BOW、WARP这类技术指标,他们表征的是什么参数呢?

BOW——弯曲度

WARP——翘曲度

BOW是晶圆在未紧贴状态下,晶圆中心点表面距离参考平面的最小值和最大值之间的偏差,偏差包括凹形和凸形的情况,凹形弯曲度为负值,凸形弯曲度为正值;一般以微米(μm)表示,一般表达形式如:≤40μm。

WARP是晶圆在未紧贴状态下,通常以晶圆背面为参考平面,测量的晶圆表面距离参考平面的最小值和最大值之间的偏差,偏差包括凹形和凸形的情况,凹形弯曲度为负值,凸形弯曲度为正值;一般以微米(μm)表示,一般表达形式如:≤30μm

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